Projekt Chip MBE završen u proteklim godinama

Tehnologija

Molekularna epitaksija snopa, ili MBE, je nova tehnika za uzgoj visokokvalitetnih tankih filmova kristala na kristalnim podlogama. U uslovima ultra-visokog vakuuma, pomoću peći za zagrijavanje opremljene svim potrebnim komponentama generiše se para. Kroz otvore formirane nakon kolimacije atomskog ili molekularnog snopa, direktno se ubrizgava u odgovarajuću temperaturu monokristalne podloge, kontrolišući molekularni snop koji skenira podlogu, istovremeno se mogu postići molekuli ili atomi u slojevima poravnanja kristala kako bi se formirao tanki film na podlozi.

Za normalan rad MBE opreme, potrebno je kontinuirano i stabilno transportovati tečni azot visoke čistoće, niskog pritiska i ultra čistoće u komoru za hlađenje opreme. Općenito, rezervoar koji obezbjeđuje tečni azot ima izlazni pritisak između 0,3 MPa i 0,8 MPa. Tečni azot na -196 ℃ lako isparava u azot tokom transporta cjevovodom. Nakon što se tečni azot sa odnosom gas-tečnost od oko 1:700 gasificira u cjevovodu, on će zauzeti veliku količinu prostora za protok tečnog azota i smanjiti normalan protok na kraju cjevovoda za tečni azot. Osim toga, u rezervoaru za skladištenje tečnog azota vjerovatno će biti ostataka koji nisu očišćeni. U cjevovodu za tečni azot, prisustvo vlažnog vazduha će također dovesti do stvaranja ledene troske. Ako se ove nečistoće ispuste u opremu, to će uzrokovati nepredvidiva oštećenja opreme.

Stoga se tečni azot u vanjskom rezervoaru za skladištenje transportuje do MBE opreme u radionici bez prašine sa visokom efikasnošću, stabilnošću i čistoćom, a nizak pritisak, bez azota, bez nečistoća, 24 sata bez prekida, takav sistem kontrole transporta predstavlja kvalifikovan proizvod.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Odgovarajuća MBE oprema

Od 2005. godine, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimizuje i poboljšava ovaj sistem i sarađuje sa međunarodnim proizvođačima MBE opreme. Proizvođači MBE opreme, uključujući DCA i REBER, imaju kooperativne odnose sa našom kompanijom. Proizvođači MBE opreme, uključujući DCA i REBER, sarađivali su na velikom broju projekata.

Riber SA je vodeći globalni dobavljač proizvoda za molekularno-snopnu epitaksiju (MBE) i srodnih usluga za istraživanje složenih poluprovodnika i industrijske primjene. Riber MBE uređaj može nanositi vrlo tanke slojeve materijala na podlogu, uz vrlo visoku kontrolu. Vakuumska oprema HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) opremljena je Riber SA uređajem. Najveći uređaj je Riber 6000, a najmanji Compact 21. U dobrom je stanju i prepoznat je od strane kupaca.

DCA je vodeća svjetska oksidna MBE. Od 1993. godine provodi se sistematski razvoj tehnika oksidacije, zagrijavanja antioksidativnih supstrata i izvora antioksidansa. Iz tog razloga, mnoge vodeće laboratorije su odabrale DCA oksidnu tehnologiju. Kompozitni poluprovodnički MBE sistemi se koriste širom svijeta. VJ sistem za cirkulaciju tečnog azota HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) i MBE oprema više modela DCA imaju podudarno iskustvo u mnogim projektima, kao što su modeli P600, R450, SGC800 itd.

tcm (2)

Tabela performansi

Šangajski institut za tehničku fiziku, Kineska akademija nauka
11. institut Kineske korporacije za elektronsku tehnologiju
Institut za poluprovodnike, Kineska akademija nauka
Huawei
Alibaba DAMO akademija
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Vrijeme objave: 26. maj 2021.

Ostavite svoju poruku