Projekt Chip MBE završen u proteklih godina

Tehnologija

Molekularna šiktaxy, ili MBE, nova je tehnika za sve kvalitete tankih filmova kristala na kristalnim supstratima. U ultra visokim vakuumskim uvjetima, peć za grijanje opremljena je svim vrstama potrebnih komponenti i generiraju paru, kroz rupe formirane nakon koliziranja atomskog ili molekularnog snopa, direktno ubrizgavanje na odgovarajuću temperaturu pojedinog kristalnog supstrata u kontrolu molekularnog snopa na Skeniranje podloge istovremeno može učiniti molekule ili atome u slojevima kristalnog poravnanja kako bi formirali tanki film na supstratu "Rast".

Za normalan rad MBE opreme, potrebna je visoka čistoća, niski pritisak i ultra-čist tečni azot koji se neprekidno i stabilno prevozi u veću za hlađenje opreme. Općenito, rezervoar koji pruža tečni azot ima izlazni tlak između 0,3MPA i 0,8MPA.liquid azota na -196 ℃ lako se isparava u dušik tokom transporta cjevovoda. Jednom je tečni azot sa omjerom plinskog tečnosti od oko 1: 700 gasteran u cjevovodu, zauzimat će veliku količinu prostora protoka tečnog dušika i smanjiti normalan protok na kraju cjevovoda za tekući dušik. Pored toga, u rezervoaru za pohranu tečnog dušika, vjerovatno će biti krhotine koje nije očišćeno. U cjevovodu za tekući dušik postojanje mokrim zrakom također će dovesti do stvaranja ledene šljake. Ako se ove nečistoće ispuštaju u opremu, prouzrokuje nepredvidivu štetu na opremi.

Stoga se tečni azot u vanjskom skladištu prevozi u MBE opremu u radionici bez prašine sa visokom efikasnošću, stabilnošću i čistom i niskom pritisku, bez dušika, nema neprekidnog sistema, takav sustav transporta, takav sustav transporta kvalificirani proizvod.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Uklapanje MBE opreme

Od 2005. godine, HL kriogena oprema (HL Cryo) optimizira i poboljšava ovaj sistem i surađuje sa međunarodnim proizvođačima opreme MBE. Proizvođači opreme MBE, uključujući DCA, Reber, imaju zadružne odnose sa našom kompanijom. Proizvođači opreme MBE, uključujući DCA i Reber, surađivali su u velikom broju projekata.

Riber SA je vodeći globalni dobavljač proizvoda molekularne grede Epitaxy (MBE) i srodne usluge za složene poluvodičke istraživanja i industrijske primjene. Riber MBE uređaj može položiti vrlo tanke slojeve materijala na podrumu, s vrlo visokim kontrolama. Vakuumska oprema HL kriogene opreme (HL Cryo) opremljena je riber SA, najveća oprema je riber 6000, a najmanja je kompaktna 21. U dobrom su stanju i prepoznali su ih i prepoznali su ga.

DCA je vodeći svjetski oksid MBE. Od 1993. godine, sustavni razvoj oksidacijskih tehnika, provedeno je antioksidantno podložno grijanje i antioksidativni izvori. Iz tog razloga, mnoge vodeće laboratorije odabrale su tehnologiju DCA oksida. Kompozitni poluvodič MBE sistemi koriste se širom svijeta. VJ tečni azotni sustav HL kriogene opreme (HL Cryo) i MBE opreme više modela DCA ima odgovarajuće iskustvo u mnogim projektima, poput modela P600, R450, SGC800 itd.

TCM (2)

Tablica performansi

Šangajski institut za tehničku fiziku, kineska akademija nauka
11. Institut za kinesku tehnološku tehnologiju elektronike
Institut za poluvodiče, Kineska akademija nauka
Huawei
Academy Alibaba Damo
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Pošta: May-26-2021

Ostavite svoju poruku