Tehnologija
Epitaksija molekularnim snopom, ili MBE, je nova tehnika za uzgoj visokokvalitetnih tankih filmova kristala na kristalnim supstratima. U uslovima ultra-visokog vakuuma, peć za grijanje je opremljena svim vrstama potrebnih komponenti i stvara paru, kroz rupe nastale nakon kolimiranja atomskog ili molekularnog snopa, direktno ubrizgavanje na odgovarajuću temperaturu monokristalne podloge, kontrolirajući molekularni snop do istovremeno skenirajući supstrat, može napraviti molekule ili atome u slojevima poravnanja kristala da formiraju tanak film na supstratu "rast".
Za normalan rad MBE opreme, potreban je tečni azot visoke čistoće, niskog pritiska i ultra-čistog da se kontinuirano i stabilno transportuje u rashladnu komoru opreme. Generalno, rezervoar koji obezbeđuje tečni azot ima izlazni pritisak između 0,3MPa i 0,8MPa. Tečni azot na -196℃ se lako isparava u azot tokom transporta cevovodom. Kada se tečni dušik s omjerom plin-tečnost od oko 1:700 gasificira u cjevovodu, on će zauzeti veliku količinu prostora za protok tekućeg dušika i smanjiti normalni protok na kraju cjevovoda za tekući dušik. Pored toga, u rezervoaru za skladištenje tečnog azota verovatno će biti ostataka koji nisu očišćeni. U cevovodu za tečni azot, postojanje vlažnog vazduha će takođe dovesti do stvaranja ledene šljake. Ako se ove nečistoće ispuštaju u opremu, to će uzrokovati nepredvidljiva oštećenja opreme.
Stoga se tečni dušik u vanjskom spremniku transportira do MBE opreme u radionici bez prašine sa visokom efikasnošću, stabilnošću i čistoćom, a niskim pritiskom, bez azota, bez nečistoća, 24 sata neprekidno, takav sistem kontrole transporta je kvalifikovani proizvod.
Odgovarajuća MBE oprema
Od 2005. godine HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimizira i unapređuje ovaj sistem i sarađuje sa međunarodnim proizvođačima MBE opreme. Proizvođači MBE opreme, uključujući DCA, REBER, imaju kooperativne odnose sa našom kompanijom. Proizvođači MBE opreme, uključujući DCA i REBER, sarađivali su u velikom broju projekata.
Riber SA je vodeći globalni dobavljač proizvoda epitaksije molekularnim snopom (MBE) i srodnih usluga za istraživanje složenih poluvodiča i industrijske primjene. Riber MBE uređaj može nanijeti vrlo tanke slojeve materijala na podlogu, uz vrlo visoke kontrole. Vakum oprema HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) opremljena je Riber SA Najveća oprema je Riber 6000, a najmanja Compact 21. U dobrom je stanju i prepoznata je od strane kupaca.
DCA je vodeći svjetski oksid MBE. Od 1993. godine provodi se sistematski razvoj tehnika oksidacije, zagrijavanja antioksidativnih supstrata i izvora antioksidansa. Iz tog razloga su mnoge vodeće laboratorije odabrale DCA oksidnu tehnologiju. Kompozitni poluprovodnički MBE sistemi se koriste širom sveta. VJ sistem za cirkulaciju tečnog azota HL kriogene opreme (HL CRYO) i MBE oprema više modela DCA imaju odgovarajuće iskustvo u mnogim projektima, kao što su model P600, R450, SGC800 itd.
Tabela performansi
Šangajski institut za tehničku fiziku, Kineska akademija nauka |
11. Institut Kine Electronics Technology Corporation |
Institut za poluprovodnike Kineske akademije nauka |
Huawei |
Alibaba DAMO akademija |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Vrijeme objave: 26.05.2021