Sistemi za hlađenje tečnim azotom se široko koriste u industriji poluprovodnika i čipova, uključujući proces,
- Tehnologija molekularne epitaksije snopa (MBE)
- Test čipa nakon COB paketa
Povezani proizvodi
Serija vakuumski izoliranih cijevi
Serija vakuumski izoliranih fleksibilnih crijeva
Dinamički sistem vakuumske pumpe
Serija vakuumski izoliranih faznih separatora
Serija vakuumski izoliranih ventila
Oprema za podršku cjevovodnim sistemima
MOLEKULARNO-SNOPNA EPITAKSIJA
Tehnologija molekularne epitaksije snopa (MBE) razvijena je 1950-ih godina za pripremu tankoslojnih poluprovodničkih materijala korištenjem tehnologije vakuumskog isparavanja. Razvojem tehnologije ultravisokog vakuuma, primjena tehnologije proširena je na područje poluprovodničke nauke.
HL je primijetio potražnju za MBE sistemom hlađenja tečnim azotom, organizovao tehničku osnovu za uspješan razvoj specijalnog MBE sistema hlađenja tečnim azotom za MBE tehnologiju i kompletnog seta vakuumski izolovanih cjevovodnih sistema, koji se koristi u mnogim preduzećima, univerzitetima i istraživačkim institutima.
Uobičajeni problemi industrije poluprovodnika i čipova uključuju:
- Pritisak tečnog azota u terminalnoj (MBE) opremi. Spriječite preopterećenje pritiskom koje može oštetiti terminalnu (MBE) opremu.
- Višestruke kontrole ulaza i izlaza kriogenih tekućina
- Temperatura tečnog azota u terminalnoj opremi
- Razumna količina kriogenih emisija plinova
- (Automatsko) prebacivanje glavnih i ogranaka vodova
- Podešavanje (smanjenje) pritiska i stabilnost VIP-a
- Čišćenje rezervoara od mogućih nečistoća i ostataka leda
- Vrijeme punjenja opreme za tekućinu u terminalu
- Predhlađenje cjevovoda
- Otpornost na tečnosti u VIP sistemu
- Kontrola gubitka tečnog azota tokom diskontinuiranog rada sistema
HL-ova vakuumski izolirana cijev (VIP) izrađena je prema standardu ASME B31.3 za tlačne cijevi. Inženjersko iskustvo i sposobnost kontrole kvalitete osiguravaju efikasnost i isplativost postrojenja kupca.
RJEŠENJA
HL Cryogenic Equipment pruža kupcima vakuumski izolirani cjevovodni sistem koji ispunjava zahtjeve i uslove industrije poluprovodnika i čipova:
1. Sistem upravljanja kvalitetom: ASME B31.3 Pravilnik o tlačnim cijevima.
2. Specijalni fazni separator sa višestrukim ulazima i izlazima kriogene tečnosti sa funkcijom automatske kontrole ispunjava zahtjeve za emisiju gasova, reciklirani tečni azot i temperaturu tečnog azota.
3. Adekvatan i pravovremen dizajn ispuha osigurava da terminalna oprema uvijek radi unutar projektovane vrijednosti pritiska.
4. Gasno-tečna barijera se postavlja u vertikalnu VI cijev na kraju VI cjevovoda. Gasno-tečna barijera koristi princip gasnog zaptivanja kako bi blokirala toplotu s kraja VI cjevovoda u VI cijevi i efikasno smanjila gubitak tečnog azota tokom diskontinuiranog i povremenog rada sistema.
5.VI Cjevovodi kontrolirani vakuumski izoliranim ventilima serije (VIV): Uključujući vakuumski izolirane (pneumatske) zaporne ventile, vakuumski izolirane nepovratne ventile, vakuumski izolirane regulacijske ventile itd. Različite vrste VIV-a mogu se modularno kombinirati za kontrolu VIP-a po potrebi. VIV je integriran s VIP prefabrikacijom u proizvođaču, bez izolacijske obrade na licu mjesta. Zaptivna jedinica VIV-a može se lako zamijeniti. (HL prihvata marku kriogenih ventila koju odrede kupci, a zatim HL proizvodi vakuumski izolirane ventile. Neke marke i modeli ventila možda se neće moći pretvoriti u vakuumski izolirane ventile.)
6. Čistoća, ako postoje dodatni zahtjevi za čistoću površine unutrašnje cijevi. Preporučuje se da kupci odaberu cijevi od nehrđajućeg čelika BA ili EP kao VIP unutrašnje cijevi kako bi se dodatno smanjilo prosipanje nehrđajućeg čelika.
7. Vakuumski izolirani filter: Očistite rezervoar od mogućih nečistoća i ostataka leda.
8. Nakon nekoliko dana ili dužeg prekida rada ili održavanja, vrlo je potrebno prethodno ohladiti VI cjevovode i terminalnu opremu prije ulaska kriogene tekućine, kako bi se izbjeglo stvaranje ledene troske nakon što kriogena tekućina direktno uđe u VI cjevovode i terminalnu opremu. Funkciju prethodnog hlađenja treba uzeti u obzir prilikom projektovanja. Ona pruža bolju zaštitu terminalne opreme i prateće opreme VI cjevovoda, kao što su ventili.
9. Odgovara za dinamičke i statičke vakuumski izolirane (fleksibilne) cjevovodne sisteme.
10. Dinamički vakuumski izolirani (fleksibilni) cjevovodni sistem: Sastoji se od VI fleksibilnih crijeva i/ili VI cijevi, spojnih crijeva, sistema vakuumski izoliranih ventila, faznih separatora i dinamičkog sistema vakuumske pumpe (uključujući vakuumske pumpe, solenoidne ventile i vakuummetara itd.). Dužina jednog VI fleksibilnog crijeva može se prilagoditi zahtjevima korisnika.
11. Različite vrste priključaka: Mogu se odabrati tip vakuumskog bajonetnog priključka (VBC) i zavareni priključak. VBC tip ne zahtijeva izolaciju na licu mjesta.
