Sistemi hlađenja tekućih dušika široko se koriste u industriji poluvodiča i čipa, uključujući proces,
- Tehnologija molekularne grede Epitaxy (MBE)
- Test čipova nakon COB paketa
Srodni proizvodi
Vakuum izolirane cijevi
Vakuum izolirana fleksibilna serija crijeva
Dinamički sistem vakuum pumpe
Vakuum izolirana fazna serija serija
Vakuum izolirana ventila
Oprema za podršku cevovodnom sistemu
Molekularna epitaxy grede
Tehnologija molekularnog epitaxy (MBE) razvijena je 1950-ih kako bi se pripremio poluvodički materijali za tanko filmove pomoću vakuumske evaporativne tehnologije. Uz razvoj ultra-visoke vakuum tehnologije, primjena tehnologije proširena je na polje poluvodiča.
HL je primijetio potrebu MBE sistema za hlađenje tekućeg dušika, organizovanog tehničkog okosnica za uspješno razvijanje posebnog MBE sistema za tekući dušik za MBE tehnologiju i kompletan set izoliranog cjevovoda, koji se koristi u mnogim preduzećima, univerzitetima i istraživačkim institutima .
Uobičajeni problemi industrije poluvodiča i čipa uključuju,
- Pritisak tečnog azota u terminalnu (MBE) opremu. Sprečite preopterećenje pritiska iz oštećenja terminala (MBE) opreme.
- Višestruki kriogeni tečni ulaz i kontrola izlaza
- Temperatura tečnog azota u terminalnu opremu
- Razumna količina emisija kriogenih plinova
- (Automatski) Prebacivanje glavnih i grana linija
- Podešavanje pritiska (smanjenje) i stabilnost VIP-a
- Čišćenje mogućih nečistoća i ostataka leda iz tenka
- Vrijeme punjenja terminalne tečne opreme
- Pretkrivanje cjevovoda
- Otpornost na tečnost u VIP sistemu
- Kontrolni gubitak tečnog azota tokom diskontinuirane usluge sistema
HL-ova vakuum izolirana cijev (VIP) izgrađena je za ASME B31.3 kôd tlaka kao standard. Inženjerski doživljaj i mogućnost kontrole kvaliteta da osigura efikasnost i isplativost postrojenja kupca.
Rješenja
HL kriogena oprema kupcima pruža vakuum izolirani cjevovodni sustav za ispunjavanje zahtjeva i uvjeti industrije poluvodiča i čipa:
1.QUIRANJE SUSTAVA UPRAVLJANJA: ASME B31.3 Kôd cevi za pritisak.
2.A Posebni fazni separator s višestrukim kriogenim tekućim ulazom i utičnicom sa automatskim upravljanjem funkcijom zadovoljava zahtjev emisije plina, recikliranog tečnog azota i temperature tečnog azota.
3.adekvatni i pravovremeni ispušni dizajn osigurava da terminalna oprema uvijek radi u okviru dizajnirane vrijednosti tlaka.
4. Površina plinske tečne barijere nalazi se u vertikalnom VI cijevi na kraju VI cjevovoda. Barijera na plin koristi princip plinskog brtva da blokira toplinu sa kraja VI cjevovoda u VI cijevove, a učinkovito smanjuju gubitak tečnog dušika tijekom diskontinuirane i povremene usluge sustava.
5.i cjevovod koji kontrolira vakuum izolirani ventil (Viv): uključujući vakuum izolirani (pneumatski) za zatvaranje ventila, vakuumski izolirani ventil, vakuum izolirani regulacijski ventil itd. Različite vrste viv-a mogu biti modularni za kontrolu VIP-a kao obavezno. Viv je integriran sa VIP montažom u proizvođaču, bez izoliranog tretmana na licu mjesta. Jedinica za brtvljenje Viva može se lako zamijeniti. (HL prihvaća kriogene brend ventila koji označavaju kupci, a zatim iznosi vakuum izolirane ventile za HL. Neki brendovi i modeli ventila možda neće biti u mogućnosti da se mogu napraviti u vakuumski izolirani ventili.)
6. CCLEANNOST, ako postoje dodatni zahtjevi za čistoću unutarnje cijevi. Predlaže se da kupci odabire BA ili EP cijevi od nehrđajućeg čelika jer VIP unutrašnje cijevi za dodatno smanjenje prosipa od nehrđajućeg čelika.
7.Vakuum izolirani filter: očistite moguće nečistoće i ostatke leda iz tenka.
8AFTR nekoliko dana ili duže isključivanje ili održavanje, vrlo je potrebno pretvoriti vi cijevo i terminalnu opremu prije nego što se unese kriogena tečnost, kako bi se izbjegla ledena šljaka nakon što kriogena tekućina direktno ulazi u vi cijevi i terminalnu opremu. Prekrivanje funkcije treba uzeti u obzir u dizajnu. Omogućuje bolju zaštitu za terminalnu opremu i VI cevovotnu opremu za podršku kao što su ventili.
9.Suit za dinamičan i statički vakuum izoliran (fleksibilan) cjevovod.
10.Damički izolirani (fleksibilni) cijevni sustav: sastoji se od vi fleksibilnih creva i / ili vi cijevi, skakača, vakuumski izolirani sistem ventila, fazni separatori i dinamički vakuumski pumpa (uključujući vakuumske pumpe, magnetne ventile i vakuumske mjere itd. ). Dužina pojedinačnog VI fleksibilnog crijeva može se prilagoditi prema potrebama korisnika.
11.Vari vrste veze: Vakuum bajonet veza (VBC) se može odabrati tip i zavarena veza. VBC tip ne trebaju izolirani tretman na licu mjesta.
