Sistemi za hlađenje tečnim azotom se široko koriste u industriji poluprovodnika i čipova, uključujući procese,
- Tehnologija epitaksije molekularnim snopom (MBE)
- Test čipa nakon COB paketa
Povezani proizvodi
Vakuumsko izolirane cijevi serije
Vakuumsko izolirana fleksibilna crijeva serije
Sistem dinamičke vakuumske pumpe
Vakuumski izolirana serija separatora faza
Vakuumski izolirani ventil serije
Oprema za podršku cevovodnom sistemu
MOLEKULARNA EPITAKSIJA
Tehnologija molekularne epitaksije (MBE) razvijena je 1950-ih za pripremu poluvodičkih tankoslojnih materijala korištenjem tehnologije vakuumskog isparavanja. Sa razvojem tehnologije ultra-visokog vakuuma, primena tehnologije je proširena i na oblast nauke o poluprovodnicima.
HL je uočio potražnju MBE sistema za hlađenje tečnim azotom, organizovane tehničke okosnice za uspešan razvoj specijalnog MBE sistema za hlađenje tečnim azotom za MBE tehnologiju i kompletnog seta vakuumsko izolovanog sistema cevi, koji se koristi u mnogim preduzećima, univerzitetima i istraživačkim institutima. .
Uobičajeni problemi industrije poluprovodnika i čipova uključuju,
- Pritisak tekućeg dušika u terminalnu (MBE) opremu. Spriječite preopterećenje tlakom zbog oštećenja terminalne (MBE) opreme.
- Višestruke kontrole ulaza i izlaza za kriogenu tečnost
- Temperatura tekućeg dušika u terminalnoj opremi
- Razumna količina emisija kriogenih gasova
- (Automatsko) Prebacivanje glavnih i granskih vodova
- Podešavanje pritiska (smanjenje) i stabilnost VIP-a
- Čišćenje mogućih nečistoća i ostataka leda iz rezervoara
- Vrijeme punjenja terminalne tečne opreme
- Predhlađenje cjevovoda
- Otpornost na tečnost u VIP sistemu
- Kontrolišite gubitak tekućeg azota tokom diskontinuiranog rada sistema
HL-ova vakuumsko izolirana cijev (VIP) je standardno izrađena prema ASME B31.3 kodu za tlačne cijevi. Inženjersko iskustvo i sposobnost kontrole kvaliteta kako bi se osigurala efikasnost i isplativost postrojenja kupca.
SOLUTIONS
HL Cryogenic Equipment pruža kupcima vakuumski izolirani cijevni sistem kako bi se ispunili zahtjevi i uslovi industrije poluprovodnika i čipova:
1. Sistem upravljanja kvalitetom: ASME B31.3 Kodeks tlačnih cijevi.
2. Specijalni separator faza sa višestrukim ulazom i izlazom za kriogenu tečnost sa funkcijom automatske kontrole ispunjava zahteve emisije gasa, recikliranog tečnog azota i temperature tečnog azota.
3. Adekvatan i pravovremen dizajn ispuha osigurava da terminalna oprema uvijek radi unutar projektovane vrijednosti tlaka.
4. Gas-tečnost barijera se postavlja u vertikalnu VI cev na kraju VI cjevovoda. Gas-tequid Barrier koristi princip gasnog zaptivanja da blokira toplotu sa kraja VI cevovoda u VI cevovod i efikasno smanji gubitak tečnog azota tokom isprekidanog i povremenog rada sistema.
5.VI Cjevovodi koje kontrolira serija ventila s vakuumskom izolacijom (VIV): Uključujući vakuumski izolirani (pneumatski) zaporni ventil, vakuumski izolirani nepovratni ventil, vakuumski izolirani regulacijski ventil itd. Različiti tipovi VIV-a mogu se modularno kombinirati za kontrolu VIP potrebno. VIV je integrisan sa VIP prefabrikacijom u proizvođaču, bez izolovane obrade na licu mesta. Zaptivna jedinica VIV-a može se lako zamijeniti. (HL prihvata marku kriogenih ventila koju su odredili kupci, a zatim proizvodi ventile sa vakumskom izolacijom od strane HL. Neki brendovi i modeli ventila možda neće moći da se naprave u vakuumsko izolovane ventile.)
6.Čistoća, ako postoje dodatni zahtjevi za čistoću unutrašnje cijevi. Predlaže se da kupci izaberu BA ili EP cijevi od nehrđajućeg čelika kao VIP unutrašnje cijevi kako bi se dodatno smanjilo prosipanje nehrđajućeg čelika.
7.Vakumski izolirani filter: Očistite moguće nečistoće i ostatke leda iz rezervoara.
8. Nakon nekoliko dana ili dužeg gašenja ili održavanja, veoma je potrebno prethodno ohladiti VI cevovod i terminalnu opremu pre nego što uđe kriogena tečnost, kako bi se izbegla ledena šljaka nakon što kriogena tečnost direktno uđe u VI cevovod i terminalnu opremu. Funkciju predhlađenja treba uzeti u obzir u dizajnu. Pruža bolju zaštitu terminalne opreme i opreme za podršku VI cevovoda kao što su ventili.
9. Odijelo za dinamički i statički vakuumski izolirani (fleksibilni) sustav cijevi.
10. Dinamički vakuumski izolirani (fleksibilni) sustav cjevovoda: Sastoji se od VI fleksibilnih crijeva i/ili VI cijevi, kratkospojnih crijeva, vakumsko izoliranog sistema ventila, separatora faza i sistema dinamičkih vakuumskih pumpi (uključujući vakuum pumpe, elektromagnetne ventile i vakuum mjerače itd. ). Dužina jednog VI fleksibilnog crijeva može se prilagoditi prema zahtjevima korisnika.
11. Različiti tipovi priključka: Vakuumski bajonet priključak (VBC) tip i zavareni spoj mogu se odabrati. VBC tip ne zahtijeva izolaciju na licu mjesta.
