Kratak opis molekularno-snopne epitaksije (MBE)
Tehnologija molekularne epitaksije snopa (MBE) razvijena je 1950-ih godina za pripremu tankoslojnih poluprovodničkih materijala korištenjem tehnologije vakuumskog isparavanja. Razvojem tehnologije ultravisokog vakuuma, primjena tehnologije proširena je na područje poluprovodničke nauke.
Motivacija istraživanja poluprovodničkih materijala je potražnja za novim uređajima, koji mogu poboljšati performanse sistema. Zauzvrat, nova tehnologija materijala može proizvesti novu opremu i novu tehnologiju. Molekularna epitaksija snopa (MBE) je tehnologija visokog vakuuma za rast epitaksijalnog sloja (obično poluprovodnika). Koristi toplotni snop izvornih atoma ili molekula koji udaraju u monokristalnu podlogu. Karakteristike ultra visokog vakuuma ovog procesa omogućavaju in situ metalizaciju i rast izolacijskih materijala na novoizraslim poluprovodničkim površinama, što rezultira površinama bez zagađenja.
MBE tehnologija
Molekularna epitaksija snopa provedena je u visokom vakuumu ili ultravisokom vakuumu (1 x 10-8Pa) okruženje. Najvažniji aspekt epitaksije molekularnim snopom je njena niska brzina taloženja, koja obično omogućava filmu da epitaksijalni rast brzinom manjom od 3000 nm na sat. Tako niska brzina taloženja zahtijeva dovoljno visok vakuum da bi se postigao isti nivo čistoće kao i kod drugih metoda taloženja.
Da bi se postigao ultra-visoki vakuum opisan gore, MBE uređaj (Knudsenova ćelija) ima sloj za hlađenje, a okruženje ultra-visokog vakuuma u komori za rast mora se održavati pomoću sistema za cirkulaciju tečnog azota. Tečni azot hladi unutrašnju temperaturu uređaja na 77 Kelvina (-196 °C). Okruženje niske temperature može dodatno smanjiti sadržaj nečistoća u vakuumu i obezbijediti bolje uslove za taloženje tankih filmova. Stoga je za MBE opremu potreban poseban sistem za cirkulaciju hlađenja tečnim azotom kako bi se obezbijedila kontinuirana i stabilna opskrba tečnim azotom na -196 °C.
Sistem za cirkulaciju tečnog azota za hlađenje
Sistem za cirkulaciju vakuumskog hlađenja tečnim azotom uglavnom uključuje,
● kriogeni rezervoar
● glavna i ogranka vakuumski obložene cijevi / vakuumski obloženo crijevo
● MBE specijalni fazni separator i vakuumski obložena ispušna cijev
● razni vakuumski obloženi ventili
● barijera za gas i tečnost
● filter s vakuumskim plaštom
● dinamički sistem vakuumske pumpe
● Sistem za prethodno hlađenje i ponovno zagrijavanje s pročišćavanjem
Kompanija HL Cryogenic Equipment je primijetila potražnju za MBE sistemom hlađenja tečnim azotom, organizovala tehničku osnovu za uspješan razvoj specijalnog MBE sistema hlađenja tečnim azotom za MBE tehnologiju i kompletnog seta vakuumske izolacije.edcjevovodni sistem, koji se koristi u mnogim preduzećima, univerzitetima i istraživačkim institutima.
HL kriogena oprema
HL Cryogenic Equipment, osnovan 1992. godine, je brend povezan sa kompanijom Chengdu Holy Cryogenic Equipment u Kini. HL Cryogenic Equipment je posvećen dizajnu i proizvodnji visokovakuumski izolovanih kriogenih cjevovodnih sistema i srodne prateće opreme.
Za više informacija, molimo Vas da posjetite službenu web stranicuwww.hlcryo.comili e-poštom nainfo@cdholy.com.
Vrijeme objave: 06.05.2021.
