Kratak pregled epitaksije molekularnim snopom (MBE)
Tehnologija molekularne epitaksije (MBE) razvijena je 1950-ih za pripremu poluvodičkih tankoslojnih materijala korištenjem tehnologije vakuumskog isparavanja. Sa razvojem tehnologije ultra-visokog vakuuma, primena tehnologije je proširena i na oblast nauke o poluprovodnicima.
Motivacija istraživanja poluvodičkih materijala je potražnja za novim uređajima, koji mogu poboljšati performanse sistema. Zauzvrat, nova tehnologija materijala može proizvesti novu opremu i novu tehnologiju. Epitaksija molekularnim snopom (MBE) je tehnologija visokog vakuuma za rast epitaksijalnog sloja (obično poluprovodnika). Koristi toplinski snop izvornih atoma ili molekula koji udaraju na monokristalnu podlogu. Ultra-visoke vakuumske karakteristike procesa omogućavaju in situ metalizaciju i rast izolacionih materijala na novoizraslim površinama poluprovodnika, što rezultira sučeljima bez zagađenja.
MBE Technology
Epitaksija molekularnim snopom je izvedena u visokom vakuumu ili ultravisokom vakuumu (1 x 10-8Pa) okolina. Najvažniji aspekt epitaksije molekularnim snopom je njena niska stopa taloženja, koja obično omogućava epitaksijski rast filma brzinom manjom od 3000 nm na sat. Tako niska stopa taloženja zahtijeva dovoljno visok vakuum da bi se postigao isti nivo čistoće kao i druge metode taloženja.
Da bi se zadovoljio gore opisani ultra-visoki vakuum, MBE uređaj (Knudsenova ćelija) ima sloj za hlađenje, a okruženje ultra visokog vakuuma u komori za rast mora se održavati pomoću sistema za cirkulaciju tečnog dušika. Tečni azot hladi unutrašnju temperaturu uređaja na 77 Kelvina (-196 °C). Okruženje niske temperature može dodatno smanjiti sadržaj nečistoća u vakuumu i obezbijediti bolje uslove za taloženje tankih filmova. Stoga je potreban namjenski cirkulacioni sistem za hlađenje tečnim azotom da bi MBE oprema obezbedila kontinuirano i stabilno snabdevanje tečnim azotom od -196 °C.
Cirkulacioni sistem za hlađenje tečnim azotom
Sistem cirkulacije vakuumskog tečnog azota uglavnom uključuje,
● kriogeni rezervoar
● glavna i grana cijev sa vakumskim omotačem / crijevo s vakuumskim omotačem
● MBE separator specijalnih faza i izduvna cijev sa vakumskim omotačem
● razni ventili sa vakumskim omotačem
● barijera gas-tečnost
● filter sa vakumskim omotom
● sistem dinamičke vakuum pumpe
● Sistem za prethodno hlađenje i ponovno zagrevanje
Kompanija HL Cryogenic Equipment je uočila potražnju MBE sistema za hlađenje tečnim azotom, organizovane tehničke okosnice za uspešan razvoj specijalnog MBE sistema za hlađenje tečnim azotom za MBE tehnologiju i kompletnog seta vakuum izolatoraedcevovodni sistem, koji se koristi u mnogim preduzećima, univerzitetima i istraživačkim institutima.
HL kriogena oprema
HL Cryogenic Equipment, koji je osnovan 1992. godine, brend je povezan sa Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company u Kini. HL Cryogenic Equipment je posvećen dizajnu i proizvodnji sistema kriogenih cevovoda sa izolacijom visokog vakuuma i prateće opreme za podršku.
Za više informacija posjetite službenu web stranicuwww.hlcryo.com, ili email nainfo@cdholy.com.
Vrijeme objave: 06.05.2021
