Kratak molekularne grede epitaxy (MBE)
Tehnologija molekularnog epitaxy (MBE) razvijena je 1950-ih kako bi se pripremio poluvodički materijali za tanko filmove pomoću vakuumske evaporativne tehnologije. Uz razvoj ultra-visoke vakuum tehnologije, primjena tehnologije proširena je na polje poluvodiča.
Motivacija istraživanja poluvodičkih materijala je potražnja za novim uređajima koji mogu poboljšati performanse sistema. Zauzvrat, nova materijalna tehnologija može proizvesti novu opremu i novu tehnologiju. Epitaxy molekularne grede (MBE) je visoka vakuum tehnologija za rast epitaksalnog sloja (obično poluvodiča). Koristi toplotnu gredu izvornih atoma ili molekula koji utječu na jednu kristalnu podlogu. Ultra-visoke vakuumske karakteristike procesa omogućavaju metalizaciju u situ i rast izolacijskih materijala na novoprimljene poluvodičke površine, što rezultira sučeljima bez zagađenja.
MBE tehnologija
Epitaksija molekularne grede izvedena je u visokom vakuumu ili ultra visokom vakuumu (1 x 10-8PA) Okolina. Najvažniji aspekt molekularnog epitaksa snopa je njegova mala stopa talože, koja obično omogućava da se film na epitaksija raste brzinom od manje od 3000 nm na sat. Takva stopa taloge zahtijeva dovoljno visok vakuum za postizanje iste razine čistoće kao i druge metode taloženja.
Za susret gore opisanog ultra-visokog vakuuma, MBE uređaj (Knudsen ćelija) ima rashladni sloj, a ultra-visoko vakuumsko okruženje komore za rast mora se održavati pomoću tečnog nitrogenog sistema cirkulacije dušika. Tečni azot hladi unutrašnju temperaturu uređaja na 77 Kelvin (-196 ° C). Okruženje niskog temperature može dodatno smanjiti sadržaj nečistoća u vakuumu i pružiti bolje uvjete za taloženje tankih filmova. Stoga je potreban namjenski tekući cirkulacioni sistem za hlađenje dušika za MBE opremu za osiguranje kontinuiranog i stalnog opskrbe tečnim azotom od -196 ° C.
Sistem cirkulacije hlađenja tekućih dušika
Sustav za cirkulacioni sistem hlađenja vakuuma u vakuumu uglavnom uključuje,
● Kriogeni rezervoar
● Glavna i grana vakuumska jakna / vakuumska jakna
● MBE posebni fazni separator i vakuumska ispušna cijev
● Različiti ventili sa vakuumom
● Pregrada za tekuću za plin
● Vakuumski sakupljeni filter
● Dinamički sistem vakuum pumpe
● Sustav za prehlađivanje i pročišćavanje zagrijavanja
Kompanija HL Cryogena oprema primijetila je potražnju MBE sistema za hlađenje tekućeg dušika, organizovanog tehničkoj okosnici za uspješno razvijanje posebnog MBE sistema za životinje u tekućim dušikom za MBE tehnologiju i kompletan set vakuuma insulataedCevovodi koji se koristi u mnogim preduzećima, univerzitetima i istraživačkim institutima.
HL kriogena oprema
HL kriogena oprema koja je osnovana 1992. godine, brend je pridružen kompaniji Chengdu Holy Cryogena oprema u Kini. HL kriogena oprema posvećena je dizajnu i proizvodnji visokog vakuumskog izoliranog kriogenog cjevovoda i srodne opreme za podršku.
Za više informacija posetite službenu veb stranicuwww.hlcryo.com, ili e-poštu nainfo@cdholy.com.
Pošta: May-06-2021
